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喷涂外观目测 目测涂层表面有无色差、气泡、不平、流挂、开裂等。 | 附着力检测 和喷涂设备同时进烤炉的试板，把试板涂层切开10mm*60mm，撕扯不起皮为合格。 | 喷涂层膜厚检测 采用非磁性专用膜厚仪测量不同位置膜厚是否达到要求。 | 电火花检测 1毫米防腐层采用低频直流电火花检测仪设定5000V电压垂直沿防腐层面低于50mm/s的速度进行100%的探伤，不产生白色火花为合格。 |
晶圆搬运机械手：高洁净度涂层可防止晶圆遭受金属离子的污染。还可针对陶瓷基材进行涂覆施工。此外，还有抗静电涂装产品。
石英制升降机械手：涂层具有优异的疏水/疏油性，可更大幅度地减少对清洗液的污染。耐低温-180℃至260℃。